Ionenbundelkegels

SIKAIDA Ion Beam Cones zijn kerncomponenten van ionenbundelimplantatie- en transmissiesystemen. Ze zijn gemaakt van zeer zuivere, geavanceerde keramische materialen en verwerkt via precisiespuitgieten en sinteren bij hoge temperaturen. Ze hebben een extreem laag onzuiverheidsgehalte, hoge temperatuurbestendigheid en een stabiele maatnauwkeurigheid. Ze kunnen worden bewerkt tot complexe geometrieën om aan extreem hoge tolerantie-eisen te voldoen, waardoor ze geschikt zijn voor hoogwaardige halfgeleiderionenimplantatieprocessen.

Als professionele fabrikant in China levert SIKAIDA betrouwbare, kosteneffectieve en aanpasbare ionenbundelkegels aan klanten over de hele wereld op het gebied van halfgeleiders, platte beeldschermen, optica, micro-elektromechanische systemen (MEMS) en zonne-energie. SIKAIDA is een vertrouwde langetermijnleverancier en een speciale productiefabriek voor hoogwaardige ionenbundelprocescomponenten.

Materialen en productie

1. Materialen

Ion Beam Cones maakt gebruik van materialen zoals aluminiumoxide (Al₂O₃) met een zuiverheid ≥99,9%, siliciumnitride (Si₃N₄) met een zuiverheid ≥99,5%, zirkoniumoxide (ZrO₂) met een zuiverheid ≥99,8% en gesmolten silica (99,999%). Alle materialen voldoen aan de strenge zuiverheidsnormen van de halfgeleiderindustrie en zijn geschikt voor de prestatie-eisen van diverse toepassingen.

2. Productieproces

Het productieproces omvat precisie-spuitgieten, sinteren op hoge temperatuur, CNC-precisiebewerking, polijsten op spiegelniveau en geautomatiseerd reinigen en testen. Elk proces wordt strikt gecontroleerd op precisie en kwaliteit om ervoor te zorgen dat het eindproduct voldoet aan de industrienormen en de eisen van de klant.

Belangrijkste productparameters

1. Dimensionale nauwkeurigheid

Ion Beam Cones hebben toleranties gecontroleerd binnen ±0,05 mm, oppervlakteruwheid Ra≤0,4μm, nauwkeurigheid van de interne gatconus ±0,02 mm, coaxialiteit ≤0,03 mm en loodrechtheid ≤0,02 mm. Deze extreem hoge maatnauwkeurigheid garandeert effectief de precisie van de ionenbundeltransmissie.

2. Oppervlaktebehandeling

Oppervlaktebehandelingen omvatten mechanisch polijsten voor een spiegelafwerking, UV-uitgeharde coatings om de oppervlakte-eigenschappen te verbeteren, krasbestendige coatings om de slijtvastheid te verbeteren, en zuurbeitsen en passivatie om onzuiverheden te verwijderen en de stabiliteit te verbeteren. Op basis van de toepassingsvereisten kunnen geschikte behandelmethoden worden geselecteerd.

3. Prestatie-indicatoren

Ion Beam Cones werken binnen een temperatuurbereik van -196℃ tot +800℃, waardoor een stabiele werking in omgevingen met extreme temperaturen wordt gegarandeerd. Ze hebben een volumeweerstand van ≥10¹⁴Ω·cm en een oppervlakteweerstand van ≥10¹²Ω, waardoor ze uitstekende isolatie-eigenschappen vertonen. Ze beschikken ook over een uitstekende weerstand tegen plasma- en chemische corrosie, waardoor ze zich kunnen aanpassen aan complexe procesomgevingen.

Kernvoordelen

1. Ultrahoge zuiverheid: de zuiverheid van de grondstoffen overschrijdt 99,9%, waardoor de vervuiling van halfgeleiderwafels wordt geminimaliseerd, stabiele elektrische prestaties van apparaten worden gegarandeerd en wordt voldaan aan de strenge zuiverheidseisen van de productie van halfgeleiders.

2. Extreem hoge geometrische nauwkeurigheid: Garandeert consistente productafmetingen tijdens massaproductie, met conusfout gecontroleerd binnen ± 0,05 mm en rondheidsfout ≤ 0,02 mm, nauwkeurig passend bij de installatie- en gebruiksvereisten van ionenbundeltransmissiesystemen.

3. Spiegelachtige oppervlaktekwaliteit: oppervlakteruwheid Ra≤0,4 μm, waardoor de verstrooiing van ionenbundels effectief wordt verminderd, de uniformiteit van de transmissie van ionenbundels wordt verbeterd en de implantatienauwkeurigheid van halfgeleiderapparaten verder wordt geoptimaliseerd.

4. Stabiliteit bij groot temperatuurbereik: Werkt stabiel in diepe cryogene tot hoge temperatuuromgevingen. Het materiaal heeft een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor een uitstekende maatvastheid behouden blijft, zelfs bij temperatuurveranderingen, waardoor prestatie-effecten door temperatuurschommelingen worden voorkomen.

5. Uitstekende isolatie- en corrosiebestendigheid: voorkomt effectief ladingsaccumulatie tijdens ionenbundeltransmissie en is bestand tegen sterke zuren, sterke basen en verschillende plasmacorrosies, waardoor een stabiele werking op lange termijn in complexe procesomgevingen wordt gegarandeerd.

Aangepaste diensten

Productmodellen en -groottes kunnen worden aangepast aan verschillende procesvereisten. Ondersteunde tekenformaten zijn onder meer STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF en fysieke voorbeelden. Wat de levertijd betreft, bedraagt ​​de levering van monsters 4-7 weken en de levering van batchproducten 8-12 weken. Ons kwaliteitssysteem voldoet aan de ISO9001:2015-, SGS RoHS-, REACH- en SEMI-normen, waardoor de productkwaliteit en leveringsefficiëntie volledig worden gegarandeerd.

Toepassingsgebieden

Ion Beam Cones worden veel gebruikt op meerdere gebieden, waaronder ionenimplanteerders bij de productie van halfgeleiders, verwerkingsapparatuur in platte beeldschermen, ion beam deposition (IBD) en ion beam etching (IBE) systemen bij de productie van optische apparaten, productie van micro-elektromechanische systemen (MEMS), ionendopingapparatuur voor zonnecellen en ionenimplantatieprocessen voor vermogenshalfgeleiderapparaten zoals bipolaire transistors met geïsoleerde poort (IGBT's) en vermogens-MOSFET's.

Veelgestelde vragen:

Vraag 1: Welke materialen worden doorgaans gebruikt in Ion Beam Cones?

A1: We gebruiken voornamelijk geavanceerde keramische materialen zoals zeer zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃), siliciumnitride (Si₃N₄) en zirkoniumoxide (ZrO₂). Deze materialen bezitten een extreem hoge zuiverheid, uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en stabiele elektrische eigenschappen.

Vraag 2: Kan UET aangepaste specificaties en oppervlaktebehandelingen leveren? 

A2: Ja. UET kan de grootte, conus, materiaalsoort en oppervlaktebehandeling van de kegels aanpassen aan uw procesvereisten. We hebben uitgebreide productie-ervaring en kunnen voldoen aan de specifieke toepassingsvereisten van klanten.

Vraag 3: Hoe wordt de precisie en kwaliteit van Ion Beam Cones gegarandeerd?

A3: We hanteren het ISO9001:2015-kwaliteitsmanagementsysteem en zijn uitgerust met uiterst nauwkeurige testapparatuur, waaronder een coördinatenmeetmachine, oppervlakteruwheidstester en röntgenfluorescentiespectrometer, om ervoor te zorgen dat elke batch producten voldoet aan strenge industrienormen.

Vraag 4: Wat is de leveringscyclus?

A4: De leveringscyclus van het monster is 4-7 weken en de leveringscyclus van batchproducten is 8-12 weken. De specifieke cyclus is afhankelijk van de productcomplexiteit en de bestelhoeveelheid.